余摆线真空泵是余摆线型转子在泵腔内作行星运动，使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。

真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”。目前真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片真空泵和中、大型的滑阀真空泵。旋片泵在较脏的工作条件下，旋片泵在转子槽中卡住。尽管滑阀泵对这一缺点有一定程度的克服，但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值，虽然在结构上采取了一些动平衡措施，但尚不能达到完全平衡，故振动难以完全消除。尤其泵的容量越大，振动亦更大。同时上述两种泵，特别是滑阀泵与其排气量相比外形尺寸显得较大。这些缺点迫使人们去研制新型结构的真空泵。德国于 1964 年开始根据汪克尔汽车转子发动机原理进行了余摆线泵的研制；于1967年在国际真空科学年会上展出了试验样机；于1972年底开始批量生产。我国随着真空技术的发展，威特真空泵公司与上海大学合作，现已批量生产。

工作原理：
当动圆O1在定圆O2 的内圆周上作纯滚动时，M点画出的轨迹便是转子的理论型线──余摆线。固定在泵体上的小齿轮和固定在转子上的大齿轮是一对内啮合齿轮。当曲柄驱动转子沿小齿轮作行星运动时，泵体上的M点永远与转子理论型线接触，而泵体的理论型线则是转子理论型线曲线族的外包络线。转子型线的内包络区域永远被转子侧面所覆盖，如在侧盖上开设气镇孔时，则应避开该区域。

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