旋片真空泵是指在转由旋片的转子在泵腔里作回转式的运动,从而使得由旋片分割的泵腔内容积产生周期性变化,进一步实现用来抽除密闭容器的气体的基本真空泵设备之一。它可以单独使用,也可作为增压真空泵泵、扩散真空泵、分子真空泵的前级泵使用。
它主要可以分为三大类:
1、油封真空泵 当前大量使用的机械真空泵,即使设计得最好,相向运动的零件间配合精度即使很高,目前,油封式真空泵是国内真空获得技术中应用最广的一种真空泵,它可单独用作低真空设备的排气用泵。随着新技术、新材料的发展和应用,性能更好的、能满足各种工业需要的、适应能力强的各种油封式真空泵。
2、液环真空泵 液环真空泵传动部位磨损是普遍存在的问题,其中包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位,传统方法以补焊和刷镀喷涂为主,当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环真空泵或油环式真空泵。
3、干式真空泵 干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4、罗茨真空泵 罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气,主要是泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
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