干式螺杆真空泵，是利用一对变螺距的螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

性能参数：

使用范围：

工业炉：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱羟等。
真空镀膜：真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。
冶金：特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。电子变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。
航空、航天：航天搭载飞船轨道舱、返回舱、火箭姿态调整舱、宇航服、宇航员太空出舱、飞机升空等真空模拟试验。
干燥：变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥。
化工、制药：产品蒸馏、干燥、脱气、物料输送等。

特点：

泵腔内无油，对真空系统无污染，提高产品质量。
泵腔内无油，解决油乳化及频繁更换工作液、频繁维护和保养等问题，节约使用成本。
干式运行，不会产生废油和油烟，有利环保 ，节约石油资源。
采用风冷，无需冷却水，降低用户使用成本。
配有多种自动保护报警装置，便于维修保养。
能抽除大量水蒸汽和少量粉尘的气体。增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射性等气体。
极限真空达到1Pa，适用于中、低真空，与罗茨真空泵串联可配成无油中真空抽气机组，与分子泵串联可组成无油高真空机组。