自1984年开始，日本半导体工业快速发展，急需大量的干式真空泵，开始研制出了一种适于半导体工业应用的干式真空泵。它是将罗茨转子多级串联组成的多级干式泵。德国、英国、法国和美国等真空泵企业也相继出现了各具特点的这种干式真空泵，有的还用电脑控制，满足了半导体和化学工业发展的需要。归根结底，国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。

我们以二战后的日本为例，在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。同时，为了满足不同应用领域和不同工况的要求，还多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10~10-2Pa，抽速从20~500 m3/h。

从国外干式真空泵生产情况来看，国外几家大公司，各家干式真空泵的销售额占全球干式真空泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，干式真空泵产量不大，但国外干式真空泵的价格远比国产泵要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统。

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