干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

经过多年来工业上应用的高真空系统的发展，我们常以油扩散泵为主真空泵、油封机械泵为前级泵组成通用型高真空系统，即所谓湿式真空系统。对这种系统的真空泵，明确指出它不适于抽除含O2过高的、有爆炸性的、有腐蚀性的、对泵油起化学反应的以及会有颗粒尘埃的气体。为什么对被抽气体有这些限制呢？就是因为泵内有油造成的。

而现代的工业化要求较高，在清洁条件下的抽气，只抽空气或少许的水蒸气，在中等条件下的抽气，抽除工艺工程的反应气体，但无固体颗粒物，在恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物(有毒甚至致癌)及固体颗粒物。

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10~10-2Pa，抽速从20~500 m3/h，但我们目前国产干泵的应用还不足3%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵，所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点，这就为我们威特真空泵业迎来了机遇与挑战。

干式真空泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等。干式泵在几个主要应用领域中所占的比例还不大，约占15％左右。干式真空泵泵整体的优化设计，合理设计泵的尺寸、转速、冷却条件，使得泵的结构紧凑、安全可靠、寿命长、耗能低。向智能控制方向发展，随着半导体生产线和其它工业生产线的发展，集成控制成为一个大的趋势，干式真空泵提供一个控制接口，与控制系统连接成为重要的集成化条件。