小型罗茨真空泵（简称小型罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨真空泵。
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小型罗茨泵具有以下特点：
在较宽的压力范围内有较大的抽速；
转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，真空泵内运动件无摩擦、不必润滑,泵腔内无油；
转子形状对称，动平衡性良好，运动平稳，选择高精度的齿轮传动，运动时噪声低；
结构紧凑，占地面积小，通常选卧室结构，泵腔内气体垂直流动，有利于被抽的灰尘或冷凝物的排除；
选择适宜的转子型线和精细的研磨加工，可获得较高的容积效率；
运转维护费用低；

小型罗茨泵的抽速随真空度变化的曲线，可以看出，在真空度较低时。泵达到最大抽速，在真空度较高时，抽速急剧下降，当真空度继续上升到最高值时，抽速甚至下降到零。但是，这种泵在抽速急剧下降以前，有一段抽速基本稳定的范围，在这个范围内允许真空度有较大的变化，但抽速颗保持基本不变。在真空度较低时，仍可获得稳定的大抽速，这就是罗茨真空泵的一大优点，它有效地弥补了油封机械泵和油扩散泵在该压强范围内抽速显著下降或不能工作的缺点。

小型罗茨泵的工作原理：
小型罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵内有两个形状对称的8字形转子，两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触，转子与泵腔壁也无接触，其间通常有0.15~1.0mm的间隙，泵腔靠间隙来密封。
由于小型罗茨泵泵腔内无摩擦，转子可高速运转，一般为1500~3000r/min,而且不必用油润滑，可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮，以及动密封处。泵没有往复运动部件，故可实现良好的动平衡。因而，罗茨泵运转平稳，转速高，尺寸小，可获得大的抽速。

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