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一、真空泵的机能参数
1、真空泵的极限压强
泵的极限压强单位是Pa，是指泵在进口处装有尺度试验罩并按划定前提工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向不乱的最低压强。
2、真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有尺度试验罩，并按划定前提工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
3、真空泵的抽气量
真空泵的抽气量单位是Pam3/s或Pal/s。是指泵进口的气体流量。
4、真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
5、泵的前级压强
真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
6、真空泵的最大前级压强
真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
7、真空泵的最大工作压强
真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的进口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
8、压缩比
压缩比是指泵对给定气体的出口压强与进口压强之比。
9、何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
10、抽速系数
泵的实际抽速与泵进口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
11、返流率
泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按划定前提工作时，通过泵进口单位面积的泵流质量流率。
12、水蒸气答应量
水蒸气的答应量单位是kg/h，它是指泵在正常环境前提下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
13、最大答应水蒸气进口压强
最大答应水蒸气进口压强单位是Pa。它是指在正常环境前提下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高进口压强。
二、真空泵的使用范围
因为各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必需知足这些要求。
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