余摆线真空泵是余摆线型转子在泵腔内作行星运动，使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。余摆线真空泵由于结构复杂、制造困难，推广使用受到一定的限制。

从结构原弹和使用性能来看，余摆线真空泵与同类型泵相比有很多优点：
1) 泵的动平衡性好，所以泵运转较平稳、振动亦小，转速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，适合发展为大抽速的机械真空泵。
2) 由于吸气管路短而粗，有利于提高低压力下的抽速。因此，在低压范围内 (1 ～ l00Pa) 余摆线真空泵的抽速特性曲线优于滑阀真空泵。
3) 余摆线真空泵的转子和泵体是一对共轭齿形副的啮合运动，所以对被抽气体中含有一定量的粉尘及小颗粒等不太敏感。
4) 余摆线真空泵适应较高温度的工作环境，可以通过温控装置使泵腔保持较高温度 ( 即成为余摆线热泵 ) ，用来抽除大量的可凝性水蒸汽。
由于余摆线真空泵在 1 ～ l0Pa 压力范围内仍具有很大的抽速，因此该泵适用于真空行业中的 大排气量装置。