涡轮分子真空泵是指气体分子被高速转动的涡轮片撞击，向出口运动，有一高速旋转的叶轮，转子的切向速度与分子运动速率相当，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级真空泵抽除。体积非常紧凑，同时极大地提高了抽气效果，显著改善了性能。涡轮分子泵可用于多种应用，包括分析仪器、薄膜沉积、空间模拟、核聚变研究、粒子加速器和同步辐射光源，以及其它工业应用。

工作原理：

1、多级速度：30,000-60,000 rpm；   基本没有油的污染