理论上，扩散泵的极限真空取决于泵油的蒸气压。而且泵油必须具备很高的热稳定性和化学稳定性，扩散泵必须和机械泵联合工作，才能构成高真空抽气系统。单独的扩散泵时没有抽气作用的。

油扩散真空泵是指扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。

注意事项：
1、真空泵在高温下接触一旦大气非常容易变质。
2、即使时常温下，长期接触大气也会因为吸收水分而降低性能。
3、因此扩散真空泵内应尽量保存良好的真空状态。
4、扩散真空泵油易挥发，因此在进气口都有挡油的冷阱。
5、加热油从喷嘴喷出，气体分子与油分子碰撞，向出气口运动，需要水冷，前级泵。

优缺点：
优点：耐用；成本低，抽速快；无震动和声音
缺点：油污染