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罗茨真空泵的最大优点是在较低人口压力时具有较高的抽气速率,但它不能单独使用,必须有一台前级真空泵串联,待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时,罗茨真空泵才能开始工作,并且在一般情况下,罗茨真空泵不允许高压差时工作,否则将会过载和过热而损坏,因此使用罗茨真空泵时必须合理地选用前级真空泵,安装必要的保护设备。
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